主要設備

• 有機金属気相成長装置
• 原子層堆積装置
• マスクアライナー
• ドライエッチング装置
• プラズマアッシング装置
• 電子ビーム蒸着装置
• 走査型電子顕微鏡
• フォトルミネッセンス装置
• 単結晶用Ｘ線回折装置
• DLTS測定装置
• AFM/KFM
• デバイス特性評価装置
• クリーンルーム

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